Was ist eine Beschichtung

Vergleich Menschenhaar und PVD-Multilayer-Schicht

Eine Hartstoffbeschichtung ist ein dünner schützender Film zur Verbesserung der Oberflächeneigenschaften eines Grundmaterials,

IN BEZUG AUF:

  • Plastische Härte
  • Oxidationswiderstand
  • Reibung
  • Bruchfestigkeit
  • Chemische Stabilität
Härtevergleich
Beispielsweise ermöglicht die Beschichtung auf einem Schneidwerkzeug eine markante Erhöhung der Schnittgeschwindigkeiten, folglich eine Steigerung der Produktivität und eine längere Lebensdauer.

Ablauf Beschichtungsprozess

1

Beladen

Beschichtungskammer wird beladen

2

Evakuieren

Beim Abscheiden von PVD-Schichten ist ein Hochvakuum erforderlich.

Die Evakuierung findet in PLATIT-Anlagen in zwei Schritten statt:

  • Die Drehschieberpumpe erzeugt einen Vordruck in der Kammer (von 100 bis 10 -2 mbar)
  • Die Turbomolekularpumpe erzeugt ein Hochvakuum von ungefähr 1 x 10 -5 mbar

3

Aufheizen

Kammer wird aufgeheizt, Prozesstemperaturen liegen bei ca. 150 - 500°C

4

Plasma-Ätzen

PLATIT-Anlagen arbeiten mit drei unterschiedlichen Ätzverfahren:

  • LGD® (Lateral Glow Discharge)
  • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
  • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)

5

Schichtabscheidung

Schichtabscheidung mittels PVD- (ARC-, SPUTTER- oder Hybrid-LACS®-Technologie) oder PECVD-Prozessen

6

Kühlen

Kühlen der Beschichtungskammer

7

Entladen

Beschichtungskammer wird entladen

Ätzen mit LGD®

Lateral Glow Discharge ist das patentierte Ätzverfahren in unseren Beschichtungsanlagen

Sogar komplizierte Oberflächen und Kavitäten werden neben Schneidkanten und Ecken (z.B. von Walzfräsern, Stempeln und Matrizen) mit LGD® erreicht, da der Elektronenfluss zwischen zwei Kathoden ein Plasma mit hoher Ionendichte im Drehgestell erzeugt.

Verwendung von Shutter:

  • Die Targets werden gereinigt, indem ein ARC hinter dem Shutter auf der Target-Oberfläche gezündet wird, ohne die Werkzeuge dabei zu kontaminieren
  • Erst nach der Target-Reinigung wird der Shutter geöffnet, wodurch ideale Bedingungen für optimale Schichthaftung gegeben sind
Ätzentechnologie Lateral Glow Discharge

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