Was ist eine Beschichtung

Eine Hartstoffbeschichtung ist ein schützender, dünner Film zur Verbesserung der Oberflächeneigenschaften eines Grundmaterials,

IN BEZUG AUF:

  • Plastische Härte
  • Oxidationswiderstand
  • Reibung
  • Bruchfestigkeit
  • Chemische Stabilität
Beispielsweise ermöglicht die Beschichtung auf einem Schneidwerkzeug eine Erhöhung der Schnittgeschwindigkeiten, folglich eine Steigerung der Produktivität und längere Lebensdauer.

Beschichtungsprozess

1

Beladen

Beschichtungskammer wird beladen

2

Evakuieren

Beim Abscheiden von PVD-Schichten ist ein Hochvakuum erforderlich.

Die Evakuierung findet in PLATIT-Anlagen in zwei Schritten statt:

  • Drehschieberpumpe erzeugt einen Vordruck in der Kammer (von 100 bis 10 -2 mbar)
  • Turbomolekularpumpe erzeugt ein Hochvakuum von ungefähr 1 x 10 -5 mbar

3

Ausheizen

Kammer wird aufgeheizt, Prozesstemperaturen liegen bei ca. 150 - 500°C

4

Plasma-Ätzen

PLATIT-Anlagen arbeiten mit drei unterschiedlichen Ätzverfahren:

  • LGD® (Lateral Glow Discharge)
  • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
  • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)

5

Schichtabscheidung

Schichtabscheidung mittels PVD- (ARC-, SPUTTER- oder Hybrid-LACS®-Technologie) oder PECVD-Prozessen

6

Kühlen

Kühlen der Beschichtungskammer

7

Entladen

Beschichtungskammer wird entladen

Ätzen mit LGD®

Lateral Glow Discharge ist das patentierte Ätzverfahren in unseren Beschichtungsanlagen

Sogar komplizierte Oberflächen, Kavitäten werden neben Schneidkanten und Ecken (z.B. von Walzfräsern, Stempeln und Matrizen) mit LGD® erreicht, da ein Elektronenfluss zwischen zwei Kathoden ein Plasma mit hoher Ionendichte im Drehgestell erzeugt.

Verwendung von Shutter:

  • Targets werden gereinigt, indem ein ARC hinter dem Shutter auf der Targetoberfläche gezündet wird, ohne die Werkzeuge dabei zu kontaminieren
  • Erst nach der Target-Reinigung wird der Shutter geöffnet, wodurch ideale Bedingungen für optimale Schichthaftung gegeben sind
Ätzentechnologie Lateral Glow Discharge

Diese Webseite verwendet Cookies, um Ihnen den bestmöglichen Service zu gewährleisten. Wenn Sie auf der Seite weitersurfen, stimmen Sie der Cookie-Nutzung zu.

Ich stimme zu.