LARC® und CERC® sind die geschützten Markennamen von PLATIT für rotierende zylindrische Kathoden mit ARC-Technologie in der Kammertür und in der Mitte der Beschichtungskammer.
Alle Pi-Anlagen von PLATIT arbeiten auf Basis dieser revolutionären LARC®-Kathoden (LAteral Rotating Cathode). Pi411 ist erweiterbar mit CERC® (Central Rotating Cathode).

Gegenüber herkömmlichen Kathoden mit anderen Targets weisen rotierende Kathoden mehrere Vorteile auf:

  • Zusammensetzung einer Schicht von unlegierten Targets ist flexibel frei programmierbar
  • Grössere effektivere Target-Oberfläche (pi x d) bei gleichbleibender Target-Länge h (pi x d x h) verlängert die Target-Lebensdauer
  • Hervorragende Prozesskontrolle und -stabilität
  • Verbesserte Schichthaftung durch LGD®-Ätzen (Lateral Glow Discharge)
  • Homogene vertikale Schichtdickenverteilung in der Beschichtungskammer
  • Zentrale Positionierung der Kathode als CERC® (Central Rotating Cathode) möglich
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