Hybrid-LACS® (LAteral ARC with Central SPUTTERING):
- Hohe Ionendichte, exzellente Haftung
- Hohe Abscheideraten
- Einführung von "neuen" Materialien durch das SPUTTERING von Keramiken
- Glattere Schichten
In der Anlage Pi411 können zwei unterschiedliche Arten dieser Hybrid-Technologie angewandt werden
1. Gleichzeitiger Ablauf von LGD® und SCIL®
Lateral Glow Discharge und SPUTTERED Coating Induced by Lateral Glow Discharge
- Zur Erhöhung von Ionendichte und Beeinflussung von Schichteigenschaften der SPUTTER-Schichten
1 - 3: LARC®-Kathode
4: SCIL®-Kathode
2. Gleichzeitiger Ablauf von LARC® und SCIL®
ARC-Verdampfung mit LAteral Rotating Cathode und Kathodenzerstäubung mit SPUTTERED Coating Induced by Lateral Glow Discharge
- Zur gezielten Dotierung von Schichtkomponenten
1 - 3: LARC®-Kathode
4: SCIL®-Kathode
Erfahren Sie mehr im Fachartikel "Hybrid-Beschichtung für Zerspanung".
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