Vergleich all unserer PVD-Serienanlagen

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  • Pi111

    Pi411

    PL711

    PL1011

    Pi1511

  • Max. Beschichtungs-Volumen [mm]

    ø 353 x
    H 498

    ø 540 x
    H 500

    ø 600 x
    H 800

    ø 715 x
    H 805

    ø 715 x
    H 805

  • Max. Beladung [kg]

    160

    200

    250

    400

    400

  • Beladung und Zykluszeiten bei Schaft-Werkzeugen (2 μm): ø 10 x 70 [mm]

    288 Stück,
    4,5 h

    504 Stück,
    4,5 h

    540 Stück,
    7 h,
    mit CrN

    1008 Stück,
    7 h

    1080 Stück,
    7 h

  • ARC-Technologie

    2 x LARC® PLUS-Kathoden

    3 x LARC®-Kathoden,
    erweiterbar mit 1 x CERC®-Kathode

    -

    4 x Planare Kathoden

    3 x LARC® XL-Kathoden,
    2 x Planare Kathoden

  • SPUTTER-Technologie

    -

    Erweiterbar mit 1 x zentraler SCIL®-Kathode

    2 x Planare Kathoden

    -

    -

  • Hybrid-LACS®-Technologie mit simultanen ARC- und SPUTTER-Prozessen

    -

    Ja, erweiterbar

    -

    -

    -

  • DLC

    -

    DLC1 und DLC3, erweiterbar für DLC2

    DLC2 und DLC3

    -

    -

  • OXI

    -

    Erweiterbar für oxidische Schichten

    -

    -

    -

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