Pi411

Die Pi411 PLUS ist mit ihrem modularen Aufbau und dem Mix an verfügbaren Technologien die flexibelste Beschichtungsanlage der Welt. Die Basis-Konfiguration als ARC-Anlage mit drei rotierenden Kathoden in der Tür lässt sich vor Ort modular mit einer ARC- oder SPUTTER-Zentralkathode sowie mit PECVD-, und OXI-Prozessen aufrüsten. Einzigartig für die Anlage ist auch die Verfügbarkeit der LACS®-Hybridtechnologie, die das gleichzeitige Beschichten mittels ARC- und SPUTTER-Technologien ermöglicht.

Die vielfältigen Konfigurationsoptionen und die mit Rundkathoden erzielte Flexibilität sind ein Garant für die Entwicklung kundenspezifischer Beschichtungen auf höchstem Leistungsniveau. Diese Anlage ist daher die ideale Wahl für Kunden, die keine technologischen Kompromisse eingehen möchten und Wert auf ein Maximum an Flexibilität sowie Performance legen.

Konfigurationen:

ECO:

Basis-Konfiguration mit 3 x LARC®-Kathoden (LAteral Rotating Cathode) in der Tür zur ARC-Beschichtung

DLC2 (PECVD):

Für a-C:H:X- bzw. a-C:H:Si-Beschichtungen

TURBO:

ECO + CERC®-Kathode (Central Rotating Cathode) mit ARC-Technologie für erhöhte Produktivität sowie komplexeste Schichten

OXI:

Für oxidische Schichten in Korund-Struktur

SCIL®:

Hochleistungs-SPUTTERING aus der zentralen Kathode

Hybrid-LACS®:

Simultane ARC- und SPUTTER-Prozesse mit LARC®-Kathoden in der Tür und zentraler SCIL®-Kathode

Eingesetzte Ätzverfahren:

  • LGD® (Lateral Glow Discharge)
  • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
  • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)

Beladung und Zykluszeiten:

  • Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø540 x H500
  • Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 414mm
  • Max. Beladung: 200kg
  • Bis zu 5 Chargen/Tag

Modulare Karussellsysteme:

  • 1 bis 14 Achsen

Software:

  • Einfache Bedienung und Wartung
  • PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
  • Moderner menügeführter Touchscreen
  • Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung
  • Manuelle und automatische Prozesskontrolle
  • Ferndiagnose und -wartung

Maschinendimensionen:

  • Footprint [mm]: B2950 x T1900 x H2400

Downloads:

Video-Animation

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