PL711

Die PL711 ist eine kompakte SPUTTER-Beschichtungsanlage auf Basis der HiPIMS-Technologie (High Power Impulse Magnetron SPUTTERING). Sie verfügt über zwei Planare HiPIMS-Kathoden und erlaubt die Abscheidung von ausgewählten Nitrid- und Kohlenstoffschichten (WC/C, DLC2, DLC3) mittels hochproduktiver Prozesse. Eine gute Plasmaausnutzung wird dank eines zusätzlichen Boosters, des PLATIT-3D-Moduls, erzielt.

Das PA3D-Modul mit zentraler Anode fokussiert ein dichtes, dreidimensionales Plasma mit hoher Ionisation in das Karussell und erzeugt damit eine homogene Beschichtung und hohe Beschichtungsrate. Beschichtungen aus der PL711 liefern exzellent glatte Oberflächen bei gleichzeitig hoher Dichte, Härte und hervorragender Haftung.

Eingesetzte Technologien:

  • 2 x Planare SPUTTER-Kathoden
  • HiPIMS-Technologie
  • PA3D-Modul mit zentraler Anode fokussiert ein dichtes und homogenes dreidimensionales Plasma mit hoher Ionisation in das Karussell

Eingesetzte Ätzverfahren:

  • LGD® (Lateral Glow Discharge)
  • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
  • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)

Abscheidungsarten:

SPUTTER Nitrid-Beschichtungen

  • Reaktive und nicht-reaktive Prozesse
  • Targets: Ti, Zr, Cr
  • Prozesstemperaturen 400°C oder <200°C in Niedrigtemperatur-Ausführung

SPUTTER Cr und a-C:H:Si

  • DLC2 (PECVD)
  • Targets: Cr
  • Prozesstemperaturen <200°C

SPUTTER Cr und ta-C + a-C

  • DLC3
  • Targets: C, Cr
  • Prozesstemperaturen <200°C

Beladung und Zykluszeiten:

  • Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø600 x H800
  • Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 550mm
  • Max. Beladung: 250kg
  • 2 Chargen/Tag

Modulare Karussellsysteme:

  • 1 oder 3 oder 6 Achsen

Software:

  • Einfache Bedienung und Wartung
  • PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
  • Moderner menügeführter Touchscreen
  • Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung
  • Manuelle und automatische Prozesskontrolle
  • Ferndiagnose und -wartung

Maschinendimensionen:

  • Footprint [mm]: B3550 x T2800 x H2350

Downloads:

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