Pi1511

Die Pi1511 ist eine grossvolumige PVD-Beschichtungsanlage. Sie kombiniert drei rotierende PLATIT LARC® XL-Kathoden in der Tür mit zwei Planaren ARC-Kathoden im hinteren Bereich der Kammer. Die Vereinigung von Rundkathoden mit leistungsstarken Planaren Kathoden erlaubt das Abscheiden von PLATIT Signature Coatings in der gewohnten Flexibilität. Die LARC® XL-Kathoden haben eine sehr lange Laufzeit und garantieren somit hohe Produktivität mit tiefen Kosten pro Werkzeug.

Eingesetzte Technologien:

  • 3 x LARC® XL-Kathoden (LAteral Rotating XL Cathode) in der Tür und
    2 x Planare Kathoden im hinteren Bereich zur ARC-Beschichtung
  • MAC-3C (Magnetic ARC Confinement – Coil Current Compensation) für automatisierte Magnetfeldanpassung
  • Schnelle Kathodenwechsel
  • Abscheidung von PLATIT Signature Coatings

Eingesetzte Ätzverfahren:

  • LGD® (Lateral Glow Discharge)
  • Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
  • Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)

Beladung und Zykluszeiten:

  • Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø715 x H805
  • Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 711mm
  • Max. Beladung: 400kg
  • 3 Chargen/Tag

Modulare Karussellsysteme:

  • 1 bis 12 Achsen

Software:

  • Einfache Bedienung und Wartung
  • PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
  • Moderner menügeführter Touchscreen
  • Statistik und Hilfefunktion über Bedienoberfläche
  • Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung
  • Manuelle und automatische Prozesskontrolle
  • Ferndiagnose und -wartung

Maschinendimensionen:

  • Footprint [mm]: B4900 x T2200 x H2450

Downloads:

Video-Animation

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