Pi1511

Die Pi1511 ist eine grossvolumige PVD-Beschichtungsanlage. Sie kombiniert drei rotierende PLATIT LARC® XL-Kathoden in der Tür mit zwei Planaren ARC-Kathoden im hinteren Bereich der Kammer. Die Vereinigung von Rundkathoden mit leistungsstarken Planaren Kathoden erlaubt das Abscheiden von PLATIT Signature Coatings in der gewohnten Flexibilität. Die LARC® XL-Kathoden haben eine sehr lange Laufzeit und garantieren somit hohe Produktivität mit niedrigen Kosten pro Werkzeug.

Eingesetzte Technologien:

3 x LARC® XL-Kathoden (LAteral Rotating XL Cathode) in der Tür und
2 x Planare Kathoden im hinteren Bereich zur ARC-Beschichtung
MAC-3C (Magnetic ARC Confinement – Coil Current Compensation) für automatisierte Magnetfeldanpassung
Schnelle Kathodenwechsel
Abscheidung von ausgewählten PLATIT Signature Coatings

Eingesetzte Ätzverfahren:

LGD® (Lateral Glow Discharge)
Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)

Beladung und Zykluszeiten:

Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø715 x H805
Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 711mm
Max. Beladung: 400kg
3 Chargen/Tag

Modulare Karussellsysteme:

1 bis 12 Achsen

Software:

Einfache Bedienung und Wartung
PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
Moderner menügeführter Touchscreen
Statistik und Hilfefunktion über Bedienoberfläche
Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung
Manuelle und automatische Prozesskontrolle
Ferndiagnose und -wartung

Maschinendimensionen:

Footprint [mm]: B4900 x T2200 x H2450

Downloads:

Datenblatt Pi1511

Kathodenkonfigurationen

Zubehör: Karusselle, Beladung