Unsere Sonderanlage bewältigt diese Herausforderungen
- Die PVD-Anlage verfügt über eine Temperaturführung für die Beschichtung von Sägeblättern; die Temperatur wird in einem sehr engen Bereich gehalten
- Der Einsatz von ARC Power Supplies bei legierten Targets verbessert die Abscheidungsrate und Schichtverteilung, gewährleistet eine gleichmässigere Target-Erosion und verlängert die Lebensdauer des Target-Materials
- Gepulste Kathoden ermöglichen glattere Beschichtungen aufgrund einer verbesserten Verteilung des Lichtbogens
- Die Beschichtungskammer ist für grosse Werkzeuge und Substrate geeignet
- Das modulare Karusselldesign ermöglicht höchste Beladungsflexibilität
Zur Beschichtung grosser Sägeblätter bis zu einem Durchmesser von 1423 mm haben wir eine Anlage mit hoher Kapazität gebaut. Ein speziell entwickeltes Karussell mit 6 Konfigurationen ermöglicht die höchste Beladungsflexibilität bei gleichzeitiger Beibehaltung der Beschichtungsqualität. In einer Charge können entweder Werkzeuge mit wahlweise kleinem oder grossem Durchmesser oder gemischte Beladungen beschichtet werden.
Die Anlage verfügt über 2 Türen und sorgt damit für:
- Perfekten Zugang zur Kammer
- Vereinfachte Wartung sowohl der Maschine als auch der Kathoden
- Vereinfachtes Be- und Entladen, da die fertige Charge durch eine Tür entnommen und die nächste Charge sofort über die andere geladen wird
Ein Schienensystem sorgt dafür, dass der Karussellwagen stets korrekt ausgerichtet ist, wodurch das Be- und Entladen von Lasten bis 1800 kg vereinfacht wird. Die Höhe der speziell angefertigten Karussellwagen wird per Knopfdruck eingestellt.
Eingesetzte Technologien:
- 6 x Planare ARC-Kathoden, 4 davon mit gepulsten ARC Power Supplies, um ein Pulsen der Kathoden zu ermöglichen
Eingesetzte Ätzverfahren:
- LGD® (Lateral Glow Discharge) mit 2 Kathoden mit Shutter und 2 Kathoden, die als Anoden agieren
- Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
- Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)
Beladung und Zykluszeiten:
- 2 - 5 Chargen/Tag
- Beschichtungsvolumen bis zu [mm]: ø1400 x H700
- Beladung bis zu 1800kg
Maschinendimensionen:
- Footprint [mm]: B8000 x T5800 x H2350
Software:
- Einfache Bedienung und Wartung
- PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
- Moderner menügeführter Touchscreen
- Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung
- Manuelle und automatische Prozesskontrolle
- Ferndiagnose und -wartung
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