LARC® e CERC® sono i marchi registrati di PLATIT per i catodi cilindrici rotanti all'interno della porta e al centro della camera di rivestimento, depositando con tecnologia ad ARCO.
Tutte le unità di rivestimento Pi di PLATIT funzionano sulla base dei rivoluzionari catodi LARC® (LAteral Rotating Cathode). Pi411 è aggiornabile con un CERC® (Central Rotating Cathode).

Rispetto ai catodi convenzionali, i catodi rotanti presentano diversi vantaggi:

  • Flessibilità nella programmazione della composizione del rivestimento di target non legati
  • Un'area di superficie effettiva più ampia (pi x d) a una lunghezza target costante h (pi x d x h) prolunga la durata del target
  • Eccellente controllo e stabilità del processo
  • Adesione del rivestimento migliorata grazie alla tecnica LGD® etching (Lateral Glow Discharge)
  • Distribuzione verticale omogenea dello spessore del rivestimento nella camera
ARCO con catodi rotanti
Comparison arc cathodes

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