LARC® e CERC® sono i marchi registrati di PLATIT per i catodi cilindrici rotanti all'interno della porta e al centro della camera di rivestimento, depositando con tecnologia ad ARCO.
Tutte le unità di rivestimento Pi di PLATIT funzionano sulla base dei rivoluzionari catodi LARC® (LAteral Rotating Cathode). Pi411 è aggiornabile con un CERC® (Central Rotating Cathode).

Rispetto ai catodi convenzionali con altri tipi di target, i catodi rotanti presentano numerosi vantaggi:

  • La composizione del rivestimento tramite target non legati è programmabile in modo flessibile
  • Superficie target più ampia ed efficace (pi x d) a lunghezza target costante h (pi x d x h) estende la durata di vita di un target
  • Eccellente controllo e stabilità del processo
  • Migliore adesione del rivestimento mediante attacco LGD® (Lateral Glow Discharge)
  • Distribuzione omogenea dello spessore del rivestimento verticale all'interno della camera
  • È possibile il posizionamento centrale del catodo come CERC® (catodo rotante centrale)
ARCO con catodi rotanti

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