Pi411

Grazie al suo design modulare e alla gamma di tecnologie disponibili, Pi411 PLUS è l'unità di rivestimento più flessibile al mondo. La sua configurazione di base come unità ARCO con tre catodi rotanti all'interno della porta può essere aggiornata in modo modulare in loco con un catodo ARCO o SPUTTER centrale, nonché con processi PECVD e OXI. Unica per questa unità è anche la disponibilità della tecnologia ibrida LACS®, che consente il deposito simultaneo di rivestimenti utilizzando sia ARCO che SPUTTER.

L'ampia varietà di opzioni di configurazione e la flessibilità resa possibile dai catodi rotanti consentono lo sviluppo di rivestimenti specifici per il cliente con le massime prestazioni. Pertanto, questa unità di rivestimento si rivolge ai clienti che cercano la massima flessibilità con una gamma completa di tecnologie di rivestimento facilmente accessibili in un'unica macchina.

Configurazioni:

ECO:

Configurazione base con 3 x LARC® (LAteral Rotating Cathode) catodo all'interno della porta per deposizione ARCO

DLC2 (PECVD):

Per a-C:H:X rispettivamente rivestimenti a-C:H:Si

TURBO:

ECO + CERC® (Central Rotating Cathode) catodo con tecnologia ARCO per aumentare la produttività e consentire rivestimenti più complessi

OXI:

Per rivestimenti in ossido nella struttura in corindone

SCIL®:

Rivestimento SPUTTER ad alte prestazioni indotto dal Lateral Glow Discharge dal catodo centrale

LACS® ibrido:

Processi ARCO e SPUTTER simultanei con LARC® all'interno della porta e catodo SCIL® centrale

Tecnologie di etching applicate:

  • LGD® (Lateral Glow Discharge)
  • Plasma etching con argon, glow discharge
  • Etching con ioni metallici (Ti, Cr)

Carico e tempi ciclo:

  • Volume di rivestimento massimo [mm]: ø540 x A500
  • Altezza massima del rivestimento con spessore del rivestimento definito: 414mm
  • Carico massimo: 200kg
  • Fino a 5 cariche/giorno

Sistemi caroselli modulari:

  • Da 1 a 14 satelliti

Software:

  • Utilizzo e manutenzione semplici
  • SmartSoftware di PLATIT (sistema PC e PLC)
  • Sistema di controllo moderno con touch screen
  • Registrazione dei dati e visualizzazione in tempo reale dei parametri e del flusso di processo
  • Controllo di processo manuale e automatico
  • Diagnostica e manutenzione remote

Dimensioni macchina:

  • Ingombro [mm]: L2950 x P1900 x A2400

Download:

Video di animazione

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