PL711

PL711 è un'unità di rivestimento SPUTTER compatta basata sulla tecnologia HiPIMS (Magnetron  SPUTTERING ad impulsi ad alta potenza). È dotato di due catodi HiPIMS planari e consente la deposizione di nitruro selezionato e rivestimenti a base di carbonio (WC/C, DLC2, DLC3) utilizzando processi altamente produttivi. Un efficiente utilizzo del plasma si ottiene attraverso un potenziatore aggiuntivo, il modulo 3D PLATIT.

Il modulo PA3D con un anodo centrale focalizza un plasma denso tridimensionale con un alto grado di ionizzazione nel carosello e genera, quindi, rivestimenti omogenei e un elevato tasso di deposizione. I rivestimenti PL711 forniscono superfici straordinariamente lisce con un'elevata densità, durezza e un'adesione eccellente.

Tecnologie applicate:

  • 2 x catodi SPUTTER planari
  • Tecnologia HiPIMS
  • Il modulo PA3D con un anodo centrale focalizza un plasma 3D denso e omogeneo con un elevato grado di ionizzazione nel carosello

Tecnologie di etching applicate:

  • LGD® (Lateral Glow Discharge)
  • Plasma etching con argon, glow discharge
  • Etching con ioni metallici (Ti, Cr)

Tipi di deposizione:

Rivestimenti in nitruro SPUTTER

  • Processi reattivi e non reattivi
  • Target: Ti, Zr, Cr
  • Processi a 400°C o <200°C in versione a bassa temperatura

SPUTTER Cr e a-C:H:Si

  • DLC2 (PECVD)
  • Target: Cr
  • Processi a <200°C

SPUTTER Cr e ta-C + a-C

  • DLC3
  • Target: C, Cr
  • Processi a <200°C

Carico e tempi ciclo:

  • Volume di rivestimento massimo [mm]: ø600 x A800
  • Altezza massima del rivestimento con spessore del rivestimento definito: 550mm
  • Carico massimo: 250kg
  • 2 cariche/giorno

Sistemi caroselli modulari:

  • 1 o 3 o 6 satelliti

Software:

  • Utilizzo e manutenzione semplici
  • SmartSoftware di PLATIT (sistema PC e PLC)
  • Sistema di controllo moderno con touch screen
  • Registrazione dei dati e visualizzazione in tempo reale dei parametri e del flusso di processo
  • Controllo di processo manuale e automatico
  • Diagnostica e manutenzione remote

Dimensioni macchina:

  • Ingombro [mm]: L3550 x P2800 x A2350

Download:

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