LARC®(侧旋转阴极)和CERC®(中心旋转阴极)是PLATIT的商标名,用于命名在门内和腔室中心的旋转柱状电弧阴极
这些革命性的LARC®阴极,是PLATIT所有Pi系列涂层设备的工作基础。Pi411可升级为带CERC®版本。

与传统的小圆靶阴极相比,旋转阴极具有以下优点:

  • 非合金靶材的涂层组合可灵活编程
  • 更大、更有效的靶材表面(π x d),在恒定靶材高度h下,(π x d x h)扩展了靶材的使用寿命
  • 卓越的过程控制和稳定性
  • 通过LGD®(侧向辉光放电)蚀刻改善涂层结合力
  • 在腔内垂直方向上均匀的涂层厚度分布
  • 中心位置的阴极可以放置CERC® (中心旋转阴极)

LARC 侧向旋转阴极电弧

为了给您提供更好的服务,本网站使用cookie。继续浏览网站即表示您同意我们使用cookies

我同意