其属性和应用可能性如下:

  • 涂层表面光滑
  • 机械硬度高
  • 化学隔绝性
  • 工具与工件之间的摩擦系数低
  • 非反射面
  • 适用于生物相容性的产品

DLC涂层可以分为以下几种类型:

  • a-C = 无氢非晶碳膜
  • ta-C = 四面体无氢非晶碳膜
  • a-C:Me = 金属掺杂无氢非晶碳膜
    (Me= Ti)
  • a-C:H = 含氢非晶碳膜
  • ta-C:H = 四面体含氢非晶碳膜
  • a-C:H:Si = 硅掺杂含氢非晶碳膜
  • a-C:H:Me = 金属掺杂含氢非晶碳膜
    (Me = W, Ti)

DLC类金刚石图谱

DLC涂层最重要性能的比较

  • DLC1

    DLC2

    DLC3

    DLC3

  • PLATIT 涂层系统

    Pi411,
    PL1011

    Pi411,
    PL711

    Pi411

    PL711

  • 涂层成分

    a-C:H:Me

    a-C:H:Si

    ta-C + a-C
    (ta-C高于50 %)

    ta-C + a-C
    (高至50 % 的ta-C)

  • 反应过程

    在C2H2 氛围下的电弧工艺

    PECVD

    溅射

    溅射

  • 涂层构架

    做为顶层

    可做为独立涂层或做为顶层

    做为独立涂层

    做为独立涂层

  • 元素掺杂

    Ti or Cr

    Si

    None

    None

  • 涂层厚度 [µm]

    < 1

    < 3

    0.3 - 1

    1 - 2

  • 杨氏模量 [GPa]

    200

    250

    350 - 450

    350 - 450

  • 纳米硬度 [GPa]

    < 20

    > 25

    45 - 50

    > 30

  • 粗糙度

    Ra ~ 0.1 µm
    Rz ~ 涂层厚度

    Ra ~ 0.03 µm
    Rz ~ 涂层厚度

    Ra ~ 0.06 µm
    Rz ~ 涂层厚度

    Ra ~ 0.02 µm
    Rz ~ 涂层厚度

  • 摩擦系数 [μ]
    PoD (室温, 50 % 湿度)

    0.15

    0.1 - 0.2

    0.1

    0.1

  • 最高应用温度 [°C]

    400

    400

    450

    450

  • 涂层温度 [°C]

    < 400

    < 220

    < 150

    180 - 250

  • 主要应用领域

    可以提高工具磨合期表现
    形成的转移膜做润滑

    减少机械零部件和模具的摩擦

    刀具

    零部件

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