Pi111
Pi411
PL711
PL1011
Pi1511
最大涂层区域 [mm]
ø 353 x
H 498
ø 540 x
H 500
4 x ø 225 x
H 800
ø 715 x
H 805
ø 715 x
H 805
最大载重 [kg]
160
200
250
400
400
装载量和运行周期
柄状刀具 (2 μm): ø 10 x 70 [mm]
288 pcs.,
4.5 h
504 pcs.,
4.5 h
540 pcs.,
11 h,
with CrN
1008 pcs.,
7 h
1080 pcs.,
7 h
ARC 电弧技术
2 x LARC® PLUS 阴极
3 x LARC® 阴极, 可升级配置 1 x CERC® 阴极
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4 x 平面阴极
3 x LARC® XL 阴极
2 x 平面阴极
SPUTTER 溅射技术
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可升级配置1 x 中心 SCIL® 阴极
2 x平面阴极
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混镀 LACS® 技术,同时运行电弧和溅射工艺
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可做升级
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DLC类金刚石涂层
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可升级做 ta-C 溅射 (DLC3) 和PECVD (DLC2)
PECVD (DLC2)和 ta-C 溅射(DLC3)
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OXI 氧化物涂层
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可升级做氧化物涂层
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