PVD 标准涂层设备

最大涂层区域 [mm]

ø 353 x
H 498

ø 540 x
H 500

ø 540 x
H 800

ø 715 x
H 805

ø 715 x
H 805

最大载重 [kg]

160

200

250

750

750

装载量和运行周期
柄状刀具 (2 μm): ø 10 x 70 [mm]

288 pcs.,
3 - 5 h

504 pcs.,
≥ 4.5 h

540 pcs.,
≥ 8 h,
with DLC2

1008 pcs.,
≥ 5.5 h

1080 pcs.,
7 h

ARC 电弧技术

2 x LARC® PLUS 阴极

3 x LARC® 阴极, 可升级配置 1 x CERC® 阴极

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4 x 支平面阴极，可升级为双脉冲特性

3 x LARC® XL 阴极
2 x 平面阴极

SPUTTER 溅射技术

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可升级配置1 x 中心 SCIL® 阴极

2 x平面阴极

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混镀 LACS® 技术，同时运行电弧和溅射工艺

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可做升级

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DLC类金刚石涂层

升级为 DLC1

DLC1, 可升级为PECVD (DLC2) 和ta-C 溅射涂层 (DLC3)

PECVD (DLC2)和 ta-C 溅射(DLC3)

DLC1

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OXI 氧化物涂层

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可升级做氧化物涂层

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氮化

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可做升级

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