Ab Minute 17:33 wird der Prozess ausführlicher erklärt.
LGD® Ätzverfahren für die PVD-Beschichtung
LGD® steht für Lateral Glow Discharge, das patentierte Ätzverfahren in unseren PVD-Beschichtungsanlagen.
Sogar komplizierte Oberflächen und Kavitäten werden neben Schneidkanten (z.B. von Walzfräsern, Stempeln und Matrizen) mit LGD® erreicht, da der Elektronenfluss zwischen zwei Kathoden ein Plasma mit hoher Ionendichte im Drehgestell erzeugt.
LGD® hat vor allem diese Vorteile:
- Geringer "Antenneneffekt" durch niedrige Bias-Spannung
- Erhöhte mittlere Streuweglänge
- Bessere Ätzpenetration, welche zur verbesserten Ätzung der Rillen führt
Einsatz eines Shutters
Ein Shutter deckt Targets ab, um sie vom Plasma in der Kammer zu isolieren. So kann man die Targets separat behandeln:
- Die Targets werden gereinigt, indem ein Arc hinter dem Shutter auf der Target-Oberfläche gezündet wird, ohne die Werkzeuge dabei zu kontaminieren.
- Erst nach der Target-Reinigung wird der Shutter geöffnet, wodurch ideale Bedingungen für optimale Schichthaftung gegeben sind und reines, nicht-kontaminiertes Target-Material für die Beschichtung benutzt werden kann.
Der 3D-Ätz-Indikator
Unser patentierter 3D-Ätz-Indikator ist eine Methode zur visuellen Untersuchung und Quantifizierung der Effizienz des Plasmaätzens.
Diese Methode optimiert die Entwicklung dedizierter Prozesse und Parameter für Schaftwerkzeuge, Verzahnungswerkzeuge, Matrizen oder auch für komplexe Geometrien.
- Liefert ein 3D-Profil der Plasma-Ätzwirkung
- Verhindert sowohl zu schwaches oder zu starkes Ätzen
- Verbessert die Leistung von Beschichtungen in gezielten Anwendungen
Interferenzfarben Skala von [1] Antończak, A. J., et al. (2014). The influence of process parameters on the laser-induced coloring of titanium. Applied Physics A, 115(3),1003-1013
Um ein 3D-Ätzprofil zu erzeugen, werden die Proben zunächst mit Schichten versehen, die nur eine einzige Interferenzfarbe (z.B. Blau) gleichmässig reflektieren. Anschliessend werden diese Proben einem Plasmaätzvorgang mit einer definierten Zeitspanne unterzogen.
Da die Interferenzfarbe einer Schicht direkt mit ihrer Schichtstärke zusammenhängt, lässt sich aus der resultierenden Farbe an jedem beliebigen Punkt der Oberfläche die Ätzwirkung an dieser bestimmten Stelle mit einer hohen Auflösung (±5nm) bestimmen. Der 3D-Ätz-Indikator von PLATIT ermöglicht dadurch die Auswahl der richtigen Kombination von Ätzparametern und stellt sicher, dass die gewählte Ätzstrategie zu einem optimalen Materialabtrag von der Oberfläche führt.
Während üblicherweise nur 1D- oder 2D-Messungen des Plasmaätzens möglich sind und die Optimierung für jeden einzelnen Parametersatz einen separaten Werkzeugtest erfordert, ist mit Hilfe des 3D-Ätz-Indikators die Ätzwirkung bereits unmittelbar nach dem Plasmaätztest mit blossem Auge sichtbar.
Das Diagramm zeigt das Ergebnis der gezielten Optimierung des Plasma-Ätzens an Mikrowerkzeugen. Im Vergleich zum üblicherweise angewandten Standardätzen wurde im Falle von 3D-Ätzen ein wesentlich geringeres Mass an Grathöhe festgestellt.
Möchten Sie mehr erfahren?
Weitere Informationen finden Sie auch hier (zum Öffnen bitte anklicken):
- "PLATIT 3D-Ätz-Indikator"
- oder wenn Sie uns kontaktieren.