PLATIT PL711 – für DLC-Beschichtungen
Die PL711 ist eine kompakte Sputter-Beschichtungsanlage auf Basis der HiPIMS-Technologie (High Power Impulse Magnetron Sputtering). Sie verfügt über zwei planare HiPIMS-Kathoden und ermöglicht Ihnen die Abscheidung von ausgewählten Nitrid- und Kohlenstoffschichten (DLC2, DLC3) mittels hochproduktiver Prozesse.
Das dichte Plasma mit hoher Ionisation im Karussell erzeugt homogene Schichten und eine hohe Beschichtungsrate. Beschichtungen aus der PL711 liefern exzellent glatte Oberflächen bei gleichzeitig hoher Dichte, Härte und hervorragender Haftung.
Technologie
In einer PL711 Beschichtungsanlage kommen jeweils 2 planare Sputter-Kathoden mit HiPIMS-Technologie zum Einsatz.
Ätzverfahren
Bei der PLATIT PL711 Beschichtungsanlage können mehrere Ätzverfahren zum Einsatz kommen, die Ihnen verschiedene Vorteile bieten:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
- Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)
Abscheidungsarten
Sputter Nitrid-Beschichtungen
- Reaktive und nichtreaktive Prozesse
- Targets: Ti, Cr
- Beschichtungs-Temperatur bis zu 350°C
Sputter Cr und PECVD a-C:H:Si
- DLC2 (PECVD-Beschichtung)
- Targets: Cr
- Beschichtungs-Temperatur 180-220°C
Sputter Cr und ta-C + a-C
- DLC3
- Targets: C, Cr
- Beschichtungstemperatur: <100°C
Beladung und Zykluszeiten
- Beschichtungs-Volumen: max. ø600 x H805mm
- Beschichtungs-Höhe mit definierter Schichtdicke: max. 500mm
- Beladung: max. 250kg, höheres Gewicht auf Anfrage
- Chargen/Tag: 2
Modulare Karussellsysteme
- 3 Achsen oder
- 6 Achsen oder
- 9 Achsen
Software
- PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
- Einfache Bedienung und Wartung
- Modernes User-Interface mit Menüführung auf Touchscreen
- Prozessvisualisierung in Echtzeit inkl. Datenaufzeichnung und Datenverwaltung
- Manuelle und automatische Prozesskontrolle
- Ferndiagnose und Fernwartung möglich
Dimensionen
- Footprint: 3450 x 2250 x 2595mm (B x T x H)