单层结构

单层 (MB) 包含单层的氮化物,单层膜是在结合层之后再加一层氮化物(如TiN+AlTiN-MB)。如果结合层和单层膜相同,则在整个沉积过程中不用切换靶材材料。

单层涂层结构
梯度层结构

梯度层结构

涂层中的成分化不断变化时则产生梯度结构(G)。涂层由结合层和核心层组成。

典型的梯度涂层是TiAlN/AlTiN-G。

多层结构

多层结构(ML)包括结合层和核心层。在结合层之后,连续沉积几个(多个)层。这些多层结构形成一个 “三明治“结构,吸收子层中的裂纹。涂层更坚硬,但不像单层结构涂层那么坚硬。

在多层中每个单层的厚度通常为50 - 100nm,例如AlCrN-ML。

多层结构
纳米多层结构

纳米多层结构

纳米多层结构(NL)是多层膜的一个更精细的版本,多层中的单层厚度小于20 nm。涂层硬度取决于涂层厚度的调制周期。要增加硬度,调制周期应设置在10 nm 左右。

PLATIT所有使用金属靶材的涂层都具有NL结构。

纳米复合结构

纳米复合结构(NC)由结合层和核心层组成。核心层由两相组成:硬的纳米晶颗粒(如TiN, TiAlN或AlCrN晶粒)嵌入到非晶的SiN基质中, 它可以阻止柱状晶生长并形成纳米复合晶结构。柱状晶生受阻就形成了精细的晶体/非晶结构。

nACo就是一个例子。

纳米晶复合结构
纳米晶复合结构示例

沙滩比对试验说明了可以通过纳米复合结构提高涂层硬度。一般情况下,在干的沙滩上脚会嵌入沙子中,然而脚却不会嵌入进湿的沙滩。因为沙粒的间隙都被水分填满,所以表面会有很高的抗压能力,也就更坚硬。

TripleCoatings3 三重膜结构

PLATIT的三重膜结构包括结合层、核心层 (MB或G) 和纳米复合顶层。

典型的涂层是nACo,可在Pi411涂层设备上使用。

三重膜结构
四重膜结构

QuadCoatings4 四重膜结构

在三重结构的基础上,PLATIT的四重结构还包含了有特殊用途的第四层。这些涂层包括结合层、梯度核心层、多层核心层和纳米复合顶层。

一个典型的例子是TiXCo4

为了给您提供更好的服务,本网站使用cookie。继续浏览网站即表示您同意我们使用cookies

我同意